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簡要描述:白光干涉三維形貌儀SPA25是德國 dataphysics 公司新推出的一款三維表面測量儀器,基于白光干涉原理,小垂直分辨率可達(dá) 0.1nm。
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—— 白光干涉三維形貌儀SPA25 ——
—— 帶操縱桿的電動(dòng)樣品臺(tái) ——
白光干涉三維形貌儀SPA25的自動(dòng)樣品臺(tái):
軟件或操作桿控制自動(dòng)樣品臺(tái)可準(zhǔn)確測量定位,并能實(shí)現(xiàn)大面積測量的自動(dòng)移動(dòng)和拼接功能,大測量面積為:300mm*300mm。
—— 帶操縱桿的電動(dòng)樣品臺(tái) ——
白光干涉三維形貌儀SPA25的軟件:
MountainsMap Imaging Topography software 強(qiáng)大的測量和分析軟件可完成所有表面分 析的要求。計(jì)算表面結(jié)構(gòu)和表面粗糙度符合不同的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn),如:ISO25178,ISO4287, ISO13565,ISO16610 等。
應(yīng)用范圍廣:
由于結(jié)合了高的測量分辨率,快的測量速度和強(qiáng)大的分析軟件使 SPA25 三維形貌儀具有 非常廣的應(yīng)用范圍。如大面積樣品的 3D 表面形貌測量,表面缺陷測量,表面結(jié)構(gòu)測量, 表面粗糙度測量等。
—— 10x 和 50x 顯微鏡物鏡 ——
顯微鏡物鏡
SPA 25 使用 Mirau 干涉儀顯微鏡物鏡。這些物鏡具有不同的放大倍數(shù),這些放大倍數(shù)會(huì) 影響 XY 尺寸的分辨率。請(qǐng)注意,由于利用了白光干涉測量技術(shù),Z 維度的分辨率與放大倍數(shù)無關(guān)。
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